Определение Керамическое краевое кольцо изготавливается из высокочистого оксида алюминия или диоксида циркония методом прецизионного формования и спекания. Используется в таких процессах полупроводникового производства, как травление, PVD и др. Надевается на край полупроводниковой пластины для...
Керамическое краевое кольцо изготавливается из высокочистого оксида алюминия или диоксида циркония методом прецизионного формования и спекания. Используется в таких процессах полупроводникового производства, как травление, PVD и др. Надевается на край полупроводниковой пластины для ее защиты и выравнивания поля плазмы. Может заменять графитовые краевые кольца и является ключевым компонентом, обеспечивающим высокий выход годных пластин.
Подходит для пластин диаметром 100–300 мм. Внутренний диаметр, наружный диаметр и толщина могут быть изготовлены на заказ. Допуск на внутренний диаметр: ±0,05 мм. Допуск на толщину: ±0,03 мм. Шероховатость поверхности: ≤ 0,02 мкм. Плотность: ≥ 3,02 г/см³. Совместимо с различными типами прецизионного полупроводникового оборудования.
Длительная рабочая температура до 1400 °C. Прочность на изгиб: ≥ 280 МПа. Твердость по шкале Мооса: 9,5. Устойчивость к воздействию и коррозии под действием плазмы. Низкое тепловое расширение, устойчивость к деформации. Отсутствие выделения примесей. Срок службы в 3–5 раз превышает срок службы графитовых краевых колец.
Широко используется в ключевых процессах, таких как травление и PVD, совместимо с различными типами прецизионного производственного оборудования. Эффективно защищает край пластины, предотвращая технологические аномалии. Выравнивает тепловое поле и распределение плазмы, повышая однородность процесса. Снижает потери пластин и затраты на замену, способствуя повышению качества и эффективности производства чипов.
Определение Тонкие перегородки изготавливаются из высокочистого карбида кремния, обработанного ме...
Определение Керамическая бронеплита изготавливается из высокочистого оксида алюминия и оксида цир...
Определение Керамический ICP-держатель изготавливается из высокочистого карбида кремния или оксид...
Определение Керамические огнеупорные кирпичи изготавливаются из высокочистого оксида алюминия и м...
Определение Керамические защитные трубки — это трубчатые компоненты, изготовленные методом спекан...
Определение Керамические тигли/саггеры представляют собой интегрированные керамические опоры для ...
Определение Керамические балки — это высокоэффективные керамические несущие элементы, изготовленн...
Определение Износостойкие керамические рабочие колеса изготавливаются из высокочистого оксида алю...
Определение Керамические полые опорные пластины изготавливаются из высокочистого карбида кремния ...
Определение Износостойкие центральные валы представляют собой цилиндрические компоненты трансмисс...
Определение Износостойкие керамические уплотнения изготавливаются из высокочистого оксида алюмини...
Определение Керамическая кристальная лодочка изготавливается из высокочистого карбида кремния мет...
Определение Керамические опоры для кремниевых пластин являются основными несущими и передающими к...
Определение Лодочки из карбида кремния изготавливаются из высокочистого карбида кремния, подвергн...
Определение Керамические термоизолированные контейнеры изготавливаются из высокочистой промышленн...
Определение Керамические подвесные пластины (для внутреннего цилиндра подогревателей цементных пе...
