Определение Керамический ICP-держатель изготавливается из высокочистого карбида кремния или оксида алюминия. Используется в процессах ICP-травления при производстве полупроводниковых и светодиодных чипов. Обеспечивает стабильную поддержку пластин, предотвращает загрязнение и деформацию. Может ...
Керамический ICP-держатель изготавливается из высокочистого карбида кремния или оксида алюминия. Используется в процессах ICP-травления при производстве полупроводниковых и светодиодных чипов. Обеспечивает стабильную поддержку пластин, предотвращает загрязнение и деформацию. Может заменять графитовые держатели и является ключевым комплектующим для оборудования ICP-травления.
Подходит для пластин диаметром 100–600 мм. Допуск: ±0,1 мм. Плоскостность: ≤ 0,2 мкм. Толщина: 8–15 мм. Плотность: ≥ 3,02 г/см³. Оснащается изготавливаемыми на заказ позиционирующими пазами, ограничительными отверстиями и зажимными элементами. Совместим с различными типами установок ICP-травления.
Термостойкость до 1400 °C. Прочность на изгиб: ≥ 280 МПа. Твердость по шкале Мооса: 9,5. Устойчивость к воздействию и коррозии под действием плазмы. Низкое тепловое расширение, устойчивость к деформации. Срок службы в 3–5 раз превышает срок службы графитовых держателей. На некоторые модели может наноситься антиплазменное покрытие.
Используется при ICP-травлении в производстве полупроводниковых и светодиодных чипов. Обеспечивает точность травления, снижает частоту замены держателей и потери пластин, уменьшает затраты, повышает эффективность и увеличивает выход годных чипов.
Определение Керамическая бронеплита изготавливается из высокочистого оксида алюминия и оксида цир...
Определение Керамические излучающие трубки представляют собой трубчатые нагревательные и излучающ...
Определение Керамические горелки изготавливаются из высокочистого карбида кремния методом SiSiC (...
Определение Керамическое краевое кольцо изготавливается из высокочистого оксида алюминия или диок...
Определение Керамические огнеупорные кирпичи изготавливаются из высокочистого оксида алюминия и м...
Определение Износостойкие керамические уплотнения изготавливаются из высокочистого оксида алюмини...
Определение Износостойкие керамические рабочие колеса изготавливаются из высокочистого оксида алю...
Определение Керамические полые опорные пластины изготавливаются из высокочистого карбида кремния ...
Определение Лодочки из карбида кремния изготавливаются из высокочистого карбида кремния, подвергн...
Определение Керамическая тонкая пластина изготавливается из высокочистого карбида кремния методом...
Определение Керамические износостойкие пластины изготавливаются из высокочистого оксида алюминия ...
Определение Керамические пластины — это функциональные компоненты, разработанные специально для л...
Определение Керамическая кристальная лодочка изготавливается из высокочистого карбида кремния мет...
Определение Керамические мишени для магнетронного распыления изготавливаются из высокочистых окси...
Определение Керамические ролики изготавливаются из высокочистой промышленной керамики с использов...
Определение Керамические паропоглотители изготавливаются из высокочистого карбида кремния и оксид...
