Определение Керамическая кристальная лодочка изготавливается из высокочистого карбида кремния методом прецизионного формования и спекания. Используется для позиционирования и поддержки полупроводниковых пластин и кремниевых подложек в высокотемпературных процессах. Является ключевым носителем ...
Керамическая кристальная лодочка изготавливается из высокочистого карбида кремния методом прецизионного формования и спекания. Используется для позиционирования и поддержки полупроводниковых пластин и кремниевых подложек в высокотемпературных процессах. Является ключевым носителем в термических процессах полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Подразделяется на вертикальные и горизонтальные типы, изготавливается из материалов SiSiC и SSiC, адаптируется под различные требования к производительности и точности.
Вертикальные: высота 680–1000 мм, подходят для пластин диаметром 6–12 дюймов, вместимость 118–135 пластин. Горизонтальные: длина 119–165 мм, подходят для пластин диаметром 4–8 дюймов, шаг зубьев 2,38–6,35 мм, допуск ±0,2 мм. Поддерживается изготовление на заказ для адаптации к конкретным печам.
SSiC: термостойкость до 1800°C, прочность на изгиб при 1300°C ≥ 560 МПа. SiSiC: термостойкость до 1400°C, прочность на изгиб 300–450 МПа. Обладают устойчивостью к термоударам и коррозии, не образуют частиц осыпания. Срок службы более чем в 5 раз превышает срок службы кварцевых лодочек.
Вертикальные лодочки используются в фотоэлектрических печах отжига и высокотехнологичном полупроводниковом оборудовании. Горизонтальные лодочки подходят для диффузионных печей и оборудования LPCVD.Способствуют процессам легирования пластин и пассивации кремниевых подложек, повышают однородность процесса и снижают затраты.
Определение Керамические печные трубы изготавливаются из высокочистой промышленной керамики метод...
Определение Керамические ролики изготавливаются из высокочистой промышленной керамики с использов...
Определение Керамические переливные кирпичи изготавливаются из высокочистого оксида алюминия и ка...
Определение Керамические подвесные пластины (для внутреннего цилиндра подогревателей цементных пе...
Определение Керамические паропоглотители изготавливаются из высокочистого карбида кремния и оксид...
Определение Керамические входные трубы представляют собой трубчатые компоненты, изготовленные из ...
Определение Керамические защитные трубки — это трубчатые компоненты, изготовленные методом спекан...
Определение Керамические поперечные балки — это высокоэффективные керамические несущие элементы, ...
Определение Опорные кронштейны для керамики изготавливаются из высокочистого карбида кремния и ме...
Определение Керамические пластины — это функциональные компоненты, разработанные специально для л...
Определение Износостойкие конструкционные компоненты из карбида кремния изготавливаются из высоко...
Определение Керамическая тонкая пластина изготавливается из высокочистого карбида кремния методом...
Определение Износостойкие керамические втулки изготавливаются из высокочистого оксида алюминия (9...
Определение Износостойкие керамические уплотнения изготавливаются из высокочистого оксида алюмини...
Определение Керамическое краевое кольцо изготавливается из высокочистого оксида алюминия или диок...
Определение Тонкие перегородки изготавливаются из высокочистого карбида кремния, обработанного ме...
