
Определение Керамическая консольная лопатка изготавливается из высокочистого карбида кремния методом точного формования и спекания. Специально разработана для автоматизации высокотемпературных печей, используется для загрузки и транспортировки кремниевых пластин и подложек. Является ключевым к...
Керамическая консольная лопатка изготавливается из высокочистого карбида кремния методом точного формования и спекания. Специально разработана для автоматизации высокотемпературных печей, используется для загрузки и транспортировки кремниевых пластин и подложек. Является ключевым компонентом термических процессов в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Выпускается в виде универсальной модели реакционного спекания и моделей на заказ, адаптированных к различным требованиям.
Стандартная длина: 1,5–3,5 м, охватывает основные модели, изготавливаемые на заказ. Подходит для пластин диаметром 8/12 дюймов и фотоэлектрических кремниевых пластин 182/210 мм. Доступны цельнокерамические и пустотелые конструкции. Несущая способность одной лопатки: 5–20 кг. Прямолинейность: ≤ 0,05 мм/м. Совместима с интерфейсами автоматизированного оборудования.
Рабочая температура: 1000–1380 °C. Отсутствие деформации при высоких температурах. Устойчивость к термоударам и коррозионно-активным газам. Твердость по шкале Мооса: 9. Низкий уровень выделения примесей, что предотвращает загрязнение обрабатываемых изделий и гарантирует точность процесса.
Широко используется в полупроводниковых диффузионных печах, оборудовании LPCVD и фотоэлектрических печах отжига. Выполняет функции транспортировки и поддержки изделий, продлевает межремонтные циклы оборудования, повышает эффективность и выход годной продукции, снижает затраты на расходные материалы.